刘宇
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陈星斌
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陈金清
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姚文俐
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刘鲁峰
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杜国平
低温物理学报
采用脉冲激光沉积技术（PLD）在LaAlO3（100）单晶衬底上外延生长YBa2Cu3O7-δ-Y2O3多层薄膜，用X射线衍射技术（XRD）分析薄膜的物相结构和外延特性，通过原子力显微镜（AFM）观察薄膜的表面形貌．本文主要研究了最佳工艺参数下交替生长多层YBCO-Y2O3膜的超导性能．结果表明，WBa2Cu3O7-δ-Y2O3薄膜为纯c轴取向外延生长，临界电流密度Jc（H=0或H／／C）均高于纯YBCO薄膜，纳米Y2O3起到磁通钉扎中心作用．
关键词:
高温超导薄膜
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PLD
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Y2O3
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外延
