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电子束蒸发制备CuAlO2透明导电膜及光学性质

刘高斌 , 王新强 , 冯庆 , 何阿玲 , 马勇 , 赵兴强 , 杨晓红

功能材料

利用烧结的CuAlO2靶材运用电子束蒸发法沉积了p型CuAlO2薄膜样品.在空气中1000℃退火之后,薄膜样品出现了(006)定向结晶,且铜铝原子比满足化学计量.CuAlO2薄膜呈现了很好的透明性,500nm厚的薄膜样品在可见光范围透射率超过了80%.利用光谱分析,CuAlO2薄膜的光学禁带约为3.80eV,其平均折射率约为1.54,同其它方法制备的该薄膜的性能相近.薄膜样品室温电导率约为0.08S/cm.

关键词: 透明导电膜 , p型 , CuAlO2 , 电子束蒸发

负折射现象的研究进展

葛芳芳 , 王万录 , 刘高斌 , 刘亚静 , 胡江川

材料导报

负折射现象是一种崭新的现象,是上个世纪60年代理论预言,直到一年前被实验证明微波照射在左手化媒质(LHM)上,折射方向不同于Snell定律所描述的.介绍了这种负折射现象研究的最新发展.着重于LHM的人工合成,理论解释以及负折射率的实验证明等几个方面,以便进一步开展这方面的工作.

关键词: 左手化媒质 , 负折射率 , 负折射现象 , 光子晶体

大功率LED封装用散热铝基板的制备与性能研究

方亮 , 钟前刚 , 何建 , 刘高斌 , 李艳炯 , 郭培

材料导报

通过正交试验分析了阳极氧化法制备LED封装用铝基板过程中电流密度、硫酸质量浓度、温度和时间等因素对其热阻、厚度、绝缘电阻率的影响.得到了制备低热阻铝基板的最佳工艺参数.根据优化参数制备了阳极氧化铝基板,将LED分别封装在自制基板和深圳光恒光电公司提供的铝基板上,检测温度与时间变化的关系,结果表明,自制散热铝基板性能更优.

关键词: LED , 铝基板 , 阳极氧化 , 热阻 , 厚度 , 绝缘电阻率

金刚石刻蚀技术研究

冯明海 , 方亮 , 刘高斌 , 侯爱国 , 张勇 , 王万录

材料导报

金刚石因其卓越的物理和化学性能一直蕴涵着巨大的应用潜力,但其极高的硬度和优异的化学稳定性使其难以被加工成型,因此,在作为新型电子功能材料走向实际应用过程中,金刚石的微细加工技术非常关键.对近年来国内外采用等离子体刻蚀技术加工金刚石的基本工艺特点和最新进展进行了较系统的比较和总结,重点分析了功率、气体种类、气体流量、偏压、掺杂类型、离子注入、掩膜等因素对刻蚀过程的影响,以期为工艺参数的进一步优化提供参考.

关键词: 金刚石 , 微细加工 , 刻蚀 , 等离子体

TiO2-KTaO3复合薄膜制备与湿敏传感性质研究

冯庆 , 王新强 , 杨晓红 , 刘高斌

功能材料

通过溶胶凝胶法和旋涂法制备了单层和双层TiO2-KTaO3薄膜,并在不同的温度下退火1h,研究了该薄膜的湿敏传感特性.通过扫描电镜和X射线衍射研究了薄膜的形态特性,发现该薄膜具有纳米颗粒和毛细多孔结构.环境湿度变化从12%RH~97%RH的变化过程中,在500℃下退火的TiO2/KTaO3薄膜具有很高的灵敏度.对比单层薄膜,双层薄膜显示出有更大的电阻变化范围.还研究了TiO2/KTaO3薄膜的湿敏传感机理.

关键词: 湿度传感器 , 溶胶凝胶法 , 旋涂法 , TiO2 , KTaO3

高反射膜抗激光损伤的研究进展

胡江川 , 王万录 , 冯庆 , 刘高斌 , 吴子华 , 葛芳芳

材料导报

介绍了高反射膜的研究现状和意义,重点综述了高反射膜的制备方法,损伤阈值测定,抗激光损伤性能的研究,以及研究热点,最后对其前景进行了展望.

关键词: 高反射膜 , 激光损伤 , 损伤阈值

透明导电SrCu2O2薄膜的制备技术与生长机制的探讨

方亮 , 高岭 , 董建新 , 彭丽萍 , 刘高斌 , 汪立文

材料导报

SrCu2O2(SCO)是一种新型可掺杂为p型导电的直接带隙透明氧化物半导体,其沉积温度低,基于pSrCu2O2和n-ZnO薄膜已经成功制备了异质结透明近紫外发光二极管,预示着其广阔的应用前景.对SCO薄膜的几种制备技术的特点进行了详细说明,结合"域匹配外延"的观点讨论了SCO在ZnO上的外延关系,并提出了SCO膜生长机理方面需要解决的问题.

关键词: SrCu2O2 , 异质外延 , 域匹配

具有负泊松比材料的研究进展

黄智 , 王万录 , 廖克俊 , 李正 , 冯庆 , 刘高斌

材料导报

介绍了负泊松比晶体材料的研究进展,展望了负泊松比晶体材料的应用前景.

关键词: 泊松比 , 剪切模量 , 体变模量

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