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淀积条件对a-SiNx:H薄膜中含氢基团的影响

朱永福 , 李牧菊 , 杨柏梁 , 刘传珍 , 廖燕平 , 袁剑锋 , 刘雅言 , 申德振

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.1999.04.008

利用红外光谱研究了等离子体化学气相沉积(PECVD)方法淀积的a-SiNx:H薄膜.分析了气体流量比(R)、衬底温度(Ts)以及射频功率(Prf)的变化对a-SiNx:H薄膜中SiH、 NH和NH2基团的吸收峰强度的影响, 同时研究了退火条件对a-SiNx:H薄膜中含氢基团的影响.

关键词: 等离子体化学气相沉积 , 非晶氮化硅薄膜 , 红外光谱

GdP5O14:Eu:Sm晶体的ESR研究

刘雅言

人工晶体学报

关键词:

用硼泥制备大尺寸氧化镁单晶及其性能研究

王岚 , 吕佳诚 , 周志洁 , 刘雅言 , 郝先 , 郭红霞

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2002.06.017

介绍用废渣硼泥制取高纯氧化镁粉末来制备大尺寸氧化镁单晶的生长方法.实验结果表明各项性能指标优良.而且,MgO原料的纯度及SiO2和CaO材料的配比与晶体生长技术是我们获得优质晶体的关键因素.同时探讨了晶体的加工和应用前景.

关键词: 硼泥 , 晶体生长 , 氧化镁单晶

溶胶-凝胶法制备纳米Pb(Zr0.52Ti0.48)O3

郭宏霞 , 刘雅言 , 王岚 , 曾雄辉 , 郝先 , 李莹

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2002.12.011

以醋酸铅,硝酸氧锆,钛酸四丁酯为原料用溶胶-凝胶法制备了纳米Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT). 结果表明,随溶剂中乙二醇单甲醚与水的比例的增大,PZT粉体的晶化温度增高,晶粒的粒径尺寸也增大,当V(C3H8O2)/V(H2O)=4.47时,不仅凝胶完成时间短,且可得到粒度分布集中、晶化温度低的PZT粉体. 用原子力显微镜测定PZT的粒径为60～70 nm,用TG-DTA分析确定在443 ℃即可发生晶化反应,在500 ℃下结晶完善. 通过对不同温度下热处理的粉体的红外光谱和X射线衍射的分析,对溶胶-凝胶法制备PZT粉体形成钙钛矿结构的过程进行了研究.

关键词: 锆钛酸铅 , 溶胶-凝胶法 , 纳米晶