杨声海
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刘银元
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邱冠周
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唐谟堂
稀有金属材料与工程
Ta2O5薄膜层具有较高的介电常数、折射率以及和ULSI加工过程中的相容性,因而将在硅芯片栅层材料、动态随机存储器、减反膜、气敏传感器、太阳能光伏电池面板介电层等方面得到应用.对以Ta(OC2H5)5为原料,通过常规金属有机化合物气相沉积、光致化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积、原子层化学气相沉积和脉冲化学气相沉积法制各Ta2O5薄膜进行了评述,并对这些方法存在的问题进行了分析.
关键词:
乙醇钽
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氧化钽薄膜
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化学气相沉积
