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张玉芹 , 邓小玲 , 刘行冰 , 符春林 , 成计平
硅酸盐通报
磁控溅射技术在薄膜制备领域有着广泛的应用.本文在介绍磁控溅射法制备薄膜材料的基本原理和流程基础之上,详细分析了溅射工艺参数(溅射功率、温度、溅射气压、氧分压)对BST薄膜性能的影响,并提出了研究中需要解决的一些问题.
关键词: 磁控溅射 , BST薄膜 , 工艺参数 , 性能
姜维海 , 刘行冰 , 林泽彬 , 蔡苇 , 符春林
表面技术
铁电体具有反常光生伏打效应,是一类极具发展潜力的新型太阳能电池材料和光电敏感材料.钛酸钡是最为典型的一种铁电材料,为将它用作太阳能电池和光电敏感材料,国内外对它的光学性质进行了广泛研究.综述了溶胶凝胶制备条件、膜厚、掺杂与钛酸钡铁电薄膜光学性质的关系,并提出了研究中亟待解决的问题.
关键词: 钛酸钡 , 薄膜 , 溶胶凝胶法 , 掺杂 , 光学性质
