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圆型平面非平衡磁控溅射靶的优化设计

马剑平 , 刘艳涛

人工晶体学报

非平衡磁控溅射技术的关键就是设计非平衡磁控溅射靶的靶面磁场分布.改善靶面横向磁场分布的均匀性是提高靶材利用率的有效途径.通过磁场的有限元分析,得到了圆型平面非平衡磁控溅射靶结构参数对靶面磁场均匀性和强度的影响,给出了非平衡磁控溅射靶的优化设计结构,并与实验结果进行了对比分析,靶面磁场强度和分布均匀性得以明显改善.

关键词: 磁控溅射 , 有限元 , 横向分量

加工参数对微孔注塑聚醚砜力学性能的影响

刘艳涛 , 刘涛 , 赵玲 , 袁渭康

高分子材料科学与工程

通过正交实验,考察了微孔注塑成型过程中各重要加工参数对微孔聚醚砜(PES)制品拉伸强度和冲击强度的影响,利用扫描电镜(SEM)观测了制品的泡孔结构.结果表明,受冷却和剪切的影响,制品表层到芯层的泡孔形态不同.较高的熔胶量和超临界流体(SCF)含量,适中的射胶压力和射胶速率以及较低的熔体温度和模具温度有利于提高制品的拉伸强度.冲击强度随着熔胶量和SCF含量的提高而增大,随着射胶压力、射胶速率、熔体温度和模具温度的提高先增大后减小.

关键词: 聚醚砜 , 超临界流体 , 微孔注塑 , 力学性能

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