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脉冲电弧沉积类金刚石薄膜特性的研究

刘缠牢 , 梁海锋 , 严一心

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.04.012

利用脉冲电弧镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光谱特性、摩擦磨损特性、硬度、电阻率和稳定性.用椭圆偏振法测试拟合得到薄膜的光学常数,傅立叶变换红外光谱仪测试薄膜的光谱特性;利用摩擦磨损实验仪测量薄膜的耐摩擦性能;利用维氏硬度计表征薄膜的硬度.结果表明薄膜在光谱范围1.25～10μm内透明,光学常数随波长的变化而变化,具有高达40GPa的维氏硬度、高的电阻率、良好的摩擦学特性和化学稳定性等.

关键词: 类金刚石薄膜 , 脉冲电弧 , 光学特性 , 机械特性