薛向尧
,
张平
,
黎海文
,
刘永顺
,
吴一辉
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.05.005
为了实现室温、常压下聚二甲基硅氧烷(PDMS)与硅的键合,本文利用氧等离子体分别对PDMS、硅进行表面改性处理.考察了等离子体射频电源功率、处理时间、氧气流量对PDMS-硅键合强度的影响.通过优化工艺适当降低PDMS表面被氧化的程度,可使PDMS活性表面的持续时间延长至45分钟,实现了PDMS-硅在室温常压下的永久性键合.通过X-射线光电子能谱(XPS)对改性后PDMS表面化学组分变化的分析,可推断出PDMS表面Si-OH的稳定性是影响键合强度的主要因素.
关键词:
氧等离子体
,
聚二甲基硅氧烷(PDMS)
,
键合
,
XPS
张涛
,
吴一辉
,
张平
,
刘永顺
,
于震雷
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.022
基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵.微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动膜.电磁微泵样机的实验结果显示:该微泵的工作性能稳定,整机具有较高的体积功能比,样机尺寸32mm×28mm×10mm,在0.6A电流输入,工作频率为13Hz时,流量可达180μl/min,零流量下的最大背压达2.75mbar.
关键词:
微机械
,
微型电磁驱动器
,
微型泵
,
集成磁性薄膜
李加东
,
宣明
,
吴一辉
,
张平
,
王淑荣
,
刘永顺
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.012
研究了一种可用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺.分析了微小面积电镀时出现边缘效应的问题,提出了增加牺牲结构的方法提高沉积速率并降低电镀边缘效应.通过脉冲微电镀实验,讨论了电流对电镀边缘效应的影响,同时分析了影响镀层表面质量的因素,得出了一组具有参考价值的电镀参数,电镀出了长620μm、宽500μm、厚2μm的微反射镜表面结构,经测量计算,该条件下,镍的生长速度约为0.1μm/min,表面平均粗糙度约为4.376nm.
关键词:
光亮镀镍
,
微反射镜
,
微电镀
,
边缘效应
