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刘永兴 , 王承遇 , 马腾才 , 夏元良 , 谭畅
硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2001.02.003
强流脉冲离子束(HIPIB)方法以新的成膜机理通过高强度(约108W/cm2),脉冲(约70ns)离子束照射到ITO陶瓷靶材上产生的高密度、高温二次等离子体快速地沉积到室温玻璃基片上成功地制得ITO薄膜。经一次脉冲发射即可制得约65nm厚的膜。通过原子力显微镜(AFM)图象分析膜的表面形貌,膜的平整性与膜厚有直接关系,一次沉积的膜的平整度良好。
关键词: 强流脉冲离子束(HIPIB) ITO薄膜 原子力显微镜(AFM)
刘永兴 , 尚华美 , 于玲 , 王承遇 , 陶瑛
材料导报
以溶胶-凝胶法,采用旋转涂膜工艺在玻璃表面制备了Ce、La掺杂的多孔TiO2薄膜。研究了玻璃表面TiO2薄膜在稀土掺杂及多孔化处理后的特征。发现稀土元素的掺杂使薄膜的多孔结构更加均匀一致,在近紫外的吸收度明显提高,同时对油酸有更高的光催化降解效率。
关键词: TiO2薄膜 , 稀土掺杂 , 原子力显微镜(AFM) , 光催化降解 , 油酸