袁振宇
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徐东
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刘毓舒
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蔡炳初
稀有金属材料与工程
研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射工艺.结果发现:溅射时采用原位加热可直接获得具有织构的晶化薄膜,提高溅射功率将使薄膜的相变温度升高.
关键词:
NiTi形状记忆合金薄膜
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原位加热
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织构
,
微驱动器
刘毓舒
材料研究学报
利用X射线衍射测定材料的残余应力时,织构的存在引起材料宏观弹性各向异性,从而导致εψ-sin2ψ关系丧失线性.为了获取这类材料应力分析的近真应力-应变关系,必须定量地考虑材料中晶粒择优取向对宏观弹性性质的影响.近年来在织构ODF分析法的基础上,相继提出适于织构材料应力分析的数学方法,本文详尽地阐述了这种方法的基本原理,并尽可能提供了所需数学处理的细节.所述方法也力图博采众长,以期尽量减少测试和计算的工作量.
关键词:
织构材料
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null
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