刘耀
,
陈曦
,
张小祥
,
刘晓伟
,
李梁梁
,
丁向前
,
郭总杰
,
袁剑峰
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153005.0784
最终关键尺寸是评价薄膜晶体管液晶显示器产品性能的一项重要参数。本文研究了在光源照度变化的条件下得到准确的最终关键尺寸的方法。通过大量的实验测试、数据分析，并配合扫描电子显微镜(SEM)图片，确定最终关键尺寸合适的测试条件和方法。基于上述分析，选取测量值稳定的光照强度区间中心点的光照强度作为标准样品参照值，选取此时样品测试图片作为标准图片。测试结果与 SEM 结果进行对比，得到不同膜层测量值和真实值之间的补偿值。并通过不同尺寸产品的数据收集和分析来验证补偿值的可靠性。通过上述方法，可以极大地缩短最终关键尺寸测量的校正周期，并为今后新产品开发提供可靠的测试标准。
关键词:
最终关键尺寸
,
测试方法
,
扫描电子显微镜
,
补偿值
刘晓伟
,
尤静林
,
王媛媛
,
王晨阳
,
刘钦
,
王静
,
赵婷
中国有色金属学报
在 Na3AlF6-Al2O3系熔盐中，考虑到可能出现的键合结构，构建系列铝氟和铝氟氧络合离子的团簇结构模型，分别应用量子化学第一原理(Ab initio)和密度泛函计算方法(DFT)对其进行结构优化和拉曼频率计算，对Na3AlF6-Al2O3二元系含和不含LiF和CaF2添加剂的两种样品进行原位升温拉曼光谱实验。结果表明：两种方法计算结果吻合较好；添加剂LiF和CaF2对Al2O3的溶解有促进作用；溶解Al2O3中的氧已转化成为Al2OF62-中的桥氧，并得到理论计算模拟结果的解释和确认。
关键词:
Na3AlF6-Al2O3
,
团簇
,
第一原理计算
,
拉曼光谱
,
高温熔盐
庞飞飞
,
李宇春
,
张锐锋
,
刘晓伟
,
曾维明
腐蚀与防护
采用金相显微镜、X射线能谱仪(EDS)、扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD),研究了NaCl,Na2SO4在620 ℃条件下对T/P92耐热钢腐蚀行为的影响.结果表明,腐蚀产物主要成分为Fe2O3,Fe3 O4和FeCr2O4.腐蚀程度随材料表面积盐量以及积盐中NaCl含量的增加而加剧.
关键词:
T/P92耐热钢
,
Cl-
,
SO42-
,
腐蚀产物
张锐峰
,
李宇春
,
庞飞飞
,
刘晓伟
腐蚀与防护
在PWR二回路乙醇胺(ETA)水工况下,通过高温高压模拟试验和低温电化学试验研究了SO42-对690合金腐蚀行为的影响.结果表明,在乙醇胺(ETA)水工况下,SO42-主要引发690合金的全面腐蚀和晶间腐蚀；对基体元素中铬和铁的溶出有促进作用,对镍的溶出有抑制作用；铁的溶出量随着SO42-浓度的增大而增加,铬和镍的溶出量受SO42-浓度的影响较小.
关键词:
乙醇胺(ETA)水工况
,
690合金
,
SO42-
,
腐蚀
刘晓伟
,
曾维明
,
康娟
,
张锐锋
,
庞飞飞
,
李宇春
腐蚀与防护
采用电化学方法研究了不锈钢1.4529的耐蚀性,极化曲线结果表明,随酸度、Cl-和SO42-含量的增大,不锈钢1.4529的腐蚀电流密度增大,且Cl-质量浓度越大,其点蚀电位越低；1.4529不锈钢在pH=3,Cl-质量浓度为20g·L-1溶液中的电化学噪声谱结果表明,其表面发生了点腐蚀,且在浸泡48 h后,点蚀由亚稳态转变为稳态.
关键词:
不锈钢1.4529
,
塔菲尔极化
,
电化学噪声
刘晓伟
,
郭会斌
,
李梁梁
,
郭总杰
,
郝昭慧
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142904.0548
纯铝薄膜被广泛用作TFT LCD的金属电极,但纯铝薄膜在热工艺中容易产生小丘,对TFT的阵列工艺的良率有较大影响.本文用磁控溅射的方法在不同温度下沉积纯铝薄膜作为薄膜晶体管的栅极,并通过电学检测、扫描电子显微镜和应力测试等方法对不同温度下沉积的纯铝薄膜的小丘生长情况进行了研究.实验结果表明:纯铝成膜温度提高,薄膜的晶粒尺寸增大,退火后产生小丘的密度和尺寸明显降低,温度应力曲线中屈服点温度也相应提高.量产中适当提高成膜温度,可以有效抑制小丘的发生,提高TFT阵列工艺的量产良率.
关键词:
薄膜晶体管阵列工艺
,
磁控溅射
,
纯铝薄膜
,
小丘
,
量产良率
