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溅射工艺对BST薄膜取向行为的影响

李颂战 , 杨艳芹 , 王水兵 , 刘文琮

功能材料

采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上沉积了Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜.借助XRD、AFM和SEM研究了衬底温度、退火温度、溅射气压等不同的溅射参数对Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜的晶化行为和显微结构的影响.在室温下沉积并未经退火处理的Ba0.65Sr0.35TiO3 薄膜是无定形...

关键词: 溅射工艺 , BST薄膜 , 晶化 , 取向