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转动竖直镜面的微机械光开关

杨艺榕 , 刘文平 , 王跃林 , 吴亚明

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.01.012

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧.芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB.

关键词: MEMS光开关 , (110)硅各向异性腐蚀 , 深反应离子刻蚀

温度对LaNi3.8Co0.6Mn0.3M0.3储氢合金结构和电极性能的影响

李斯 , 周怀营 , 刘文平 , 张怀刚 , 邓健秋 , 王仲民

稀有金属材料与工程

对LaNi3.5Co0.6Mn0.3M0.3 (M=Ni,A1,Cu)储氢合金在238,273,303和323 K温度下的结构和电化学性能进行了一系列的实验研究.A,B,C分别代表LaNi4.1Co0.6Mn0.3 (Ni替代),LaNi3.5Co0.6Mn0.3Al0.3(A1替代)和LaNi3.5Co0.6Mn0.3Cu0.3(Cu替代)3种储氢合金,通过X射线衍射仪分别对样品A,B,C的结构进行了研究,对样品A,B,C合金粉末制成的电极进行了模拟电池测试.结果证实,制备的合金均由具有CaCu5型六方晶格结构的LaNi5相构成.3种合金中,Cu替代的合金电极低温性能得到改善,A1替代的合金电极高温放电能力得到提高.交流阻抗图谱分析表明,B合金电极样品的高温放电能力提高是由于合金电极表面形成的致密氧化膜层减缓了合金腐蚀所致,样品B,C的高倍率性能衰退是由于电极表面的充放转移反应和氢原子扩散速率下降造成的,而样品C的优良低温性能则是合金电极表面高的充放电转移反应速率所致.

关键词: 储氢合金 , LaNi3.8Co0.6Mn0.3M0.3 , 电极性能 , 高倍率放电能力 , 宽温

热敏材料掺磷非晶硅的退火行为

马铁英 , 李铁 , 周萍 , 刘文平 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.014

本文对PECVD制备的红外热敏材料掺磷非晶硅薄膜的两个关键热电参数-红外吸收系数和电阻温度系数-采用红外透射谱、拉曼谱和电阻率测量进行了深入的研究.实验结果表明,对样品进行退火30 min后,薄膜结构可以达到稳定;随着退火温度的增加,样品的红外透射率下降;当退火温度达到700℃时,薄膜完全晶化;与此同时,电阻率和电阻温度系数随掺杂浓度和退火温度的增加而减小.根据Lu的模型,对这些现象进行了解释并给出了制备和退火的优化条件.

关键词: 非晶硅 , 退火 , 红外 , 电阻温度系数

纳米铜粉对储氢合金电极电化学性能的影响

秦海青 , 刘文平 , 林峰 , 张振军 , 张建伟 , 雷晓旭

有色金属工程 doi:10.3969/j.issn.2095-1744.2016.01.005

以直流电弧等离子法制备纳米铜粉,对比不同质量纳米铜粉取代镍粉作为导电剂对储氢电池负极材料AB5型储氢合金电极电化学性能的影响.结果表明,制备的铜粉为近球形颗粒,中粒径为150 nm.采用纳米铜粉取代镍粉作为导电剂后,可以显著改善储氢合金负极的充放电性能和高倍率性能,在1 800 mA/h的放电电流密度下,以纳米铜粉替代50%的镍粉作为导电剂,高倍率从7.65%提高至44.18%.纳米铜粉的电催化活性不如镍粉,但可以显著提高合金电极的导电性,改善动力学性能.

关键词: 纳米铜粉 , 储氢合金 , 电化学 , 导电剂

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