王小平
,
刘援
,
王霈文
,
冯稷
,
李季
,
林晨光
,
华志强
,
吴柏枚
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.06.004
采用中空柱阴极直流磁控溅射装置制备 YBCO 超导薄膜.应用原子力显微镜(AFM)研究了在最佳工艺条件下沉积在 LaAlO3 和 Zr(Y)O2 上的具有 c 轴取向的 YBCO 超导薄膜及其相应衬底的表面形貌.生长的 YBCO 膜都具有较好的表面结构.在 LaAlO3 单晶衬底上的 YBCO 膜形成大颗粒岛状结构,颗粒生长整齐,尺寸大小均匀;生长在单晶 Zr(Y)O2 上的 YBCO 膜则形成起伏较大的层状与岛状生长的混合结构,这些差别的产生与衬底的初始状况及制备过程中膜与衬底的界面作用有关.分析了形成超导薄膜不同表面形貌的原因,从生长机理角度讨论了表面形貌与缺陷和位错的形成机制.
关键词:
磁控溅射
,
YBCO
,
薄膜
,
表面形貌
王小平
,
刘援
,
王霈文
,
李季
,
林晨光
,
华志强
,
冯稷
,
吴柏枚
,
杜英磊
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2002.02.001
采用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置,在LaAlO3和Zr(Y)O2衬底上制备YBCO超导薄膜.用透射电镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜和衬底间的界面,薄膜的螺旋生长结构,YBCO薄膜及其相应衬底的表面形貌进行了观察和测量.分析了基片表面形貌及表层内缺陷对界面附近薄膜组织结构的影响.研究了不同衬底沉积的超导薄膜具有不同表面形貌的原因.从生长机理角度对表面形貌、缺陷和位错的形成机制进行讨论.
关键词:
王小平
,
刘援
,
王霈文
,
冯稷
,
林晨光
,
华志强
,
张朝兴
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2000.06.017
采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜.使用衬底为(001) LaAlO3 和 (001) YSZ.双面超导薄膜零电阻温度 TC=89～91K,临界电流密度 JC≥106A/cm2(77K,零场下),微波表面电阻 RS＜1 mΩ(77K,10GHz).对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较.当 O2:Ar=1:2.5,衬底温度在 800℃时,制备出了高质量的双面超导薄膜.同时对双面超导薄膜进行了微结构分析.用制备的 25mm×20mm 双面膜研制成功中频滤波器,中心频率为1.06 GHz 时,插损为 0.67 dB.
关键词:
磁控溅射
,
双面超导薄膜
,
性能
,
微结构
