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纳米金刚石膜——一种新的具有广阔应用前景的CVD金刚石

韩毅松 , 玄真武 , 刘尔凯 , 侯立

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.02.019

以氢气为主要反应气体生长的CVD金刚石膜的晶粒尺寸过大限制了它在某些领域的进一步应用.当晶粒组成降到纳米级时,金刚石膜会表现出许多优异的性能,具有广阔的应用前景.与通常的CVD法生长金刚石的工艺不同,氩气在纳米金刚石的生长过程中发挥着重要作用.纳米金刚石的鉴定和评价是纳米金刚石研究中的重要部分.

关键词: 纳米金刚石 , 化学气相沉积 , CVD金刚石

直流放电法生长金刚石膜明等离子体诊断

刘尔凯

人工晶体学报

关键词:

CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究

潘永东 , 钱梦騄 , 侯立 , 刘尔凯

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.006

本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法.利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚石膜的高声速特性.

关键词: 金刚石膜 , 压电薄膜 , 激光超声 , 化学气相沉积