史玉芬
,
周学芹
,
李坤
,
刘小利
人工晶体学报
利用自主研发的圆柱谐振腔式MPCVD设备,在工作气压28 kPa,微波功率5 kW的条件下成功制备金刚石单晶,并采用光学显微镜、激光拉曼谱(Raman)技术对样品进行表征.结果表明,在高气压高功率条件下单晶的沉积速率高达26 μm/h,且表面形貌平整.
关键词:
金刚石单晶
,
沉积速率
,
MPCVD
周学芹
,
史玉芬
,
李坤
,
刘小利
材料科学与工程学报
doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2015.05.018
采用自主改进的圆柱谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源、反应腔压强30kPa、微波功率6kW、CH4浓度2％,在不同的沉积温度下进行了多晶金刚石膜的制备研究.采用扫描电镜、X-射线衍射技术对所制备样品的表面形貌、物相及晶面取向进行了分析.结果表明,在高气压条件下,沉积温度由800℃升高至900℃时,金刚石膜的表面形貌由(111)晶面择优取向逐渐转向(100)晶面择优取向;沉积温度由900℃升高至1050℃时,金刚石的表面形貌由(100)晶面择优取向逐渐转向(111)晶面择优取向.
关键词:
MPCVD
,
金刚石膜
,
沉积温度
,
择优取向
周学芹
,
史玉芬
,
李坤
,
刘小利
硅酸盐通报
近年来研究表明,在微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)制备金刚石的过程中,增大反应气压和微波功率是提高金刚石生长速率的有效途径.本文采用自主改进的圆柱谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在反应气压30 kPa、微波功率5.8 kW、CH4浓度不同的条件下进行了多晶金刚石膜的制备研究,并采用扫描电镜、X-射线衍射和激光拉曼光谱技术对所制备样品的表面形貌、物相及品质进行了分析.结果表明,CH4浓度由2.5％提高至5％,金刚石膜的质量较好,沉积速率由7.5μm/h提高至27.5μm/h.
关键词:
MPCVD
,
金刚石膜
,
生长速率
欧红娟
,
李明
,
蒙飞
,
刘小利
,
郭小阳
硅酸盐通报
深井超深井常会遇到长封固段大温差固井水泥浆施工困难，固井质量难以保证等问题。本文在总结国内外研究现状的基础上，分析了长封固段大温差固井水泥浆技术研究不足主要在于：(1)缓凝剂的跨温区使用易造成水泥浆超缓凝，目前研究没有从本质上解决该问题，且缓凝剂加量大抗盐性有待提高；(2)聚合物类外加剂在高温下的粘度急剧降低易造成水泥浆稳定性变差；(3)低密度水泥浆环空封隔性能较差；(4)高密度水泥浆在高温高压条件下稳定性较差等。针对上述难点，提出了长封固段大温差固井水泥浆技术对策，包括：(1)合理设计缓凝剂分子结构，研发加量少、抗盐性强的低温敏感缓凝剂；(2)探索AMPS类共聚物引起“鼓包”现象的本质；(3)选择并修正适用于固井水泥浆的紧密堆积模型，以提高高密度、低密度水泥浆应用性能；(4)积极开展高温悬浮稳定剂的合成与生产。
关键词:
大温差
,
固井水泥浆难点
,
关键技术
,
技术对策
