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热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析

李建国 , 刘实 , 李依依 , 胡东平 , 季锡林 , 梅军 , 周德惠

金属学报

根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数, 建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型。利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算, 研究了沉积参数对空间场的影响。结果表明, 衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合。只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大, 其它沉积参数对衬底温度的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大。 从热丝阵列的最低温度出发, 优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比较适宜的热丝几何参数。

关键词: 热丝化学气相沉积 , coupled model , spacial field

Ca,Pd,Sn,La对MgH2电子结构的影响

陈东 , 陈廉 , 王元明 , 刘实 , 陈德敏 , 马常祥 , 王隆保

稀有金属材料与工程

采用基于第一原理的离散变分方法(DVM),研究了Ca,Pd,Sn,La等原子替代镁氢化物MgH2原子团簇中心Mg原子对镁氢化物电子结构及其成键特性的影响.通过分析晶体轨道重叠集居数(COOP),键序(BO)和键差分电荷密度等计算结果表明:Ca,Pd,Sn,La等原子对关系到Mg(M)H2结构稳定性的Mg-H键具有明显影响;它们最近邻镁原子周围的电荷密度重新分布并具有明显的各向异性,当M是Ca,Pd,La时,其最近邻Mg和H之间键序变化不大,稍有增加,当M是Sn时,则大幅减弱,其逐增顺序为Sn<La<Pd<Ca;而且,对其它位置Mg与氢之间相互作用也有一定程度的影响.

关键词: Mg(M)H2(M=Ca,Pd,Sn,La) , 离散变分方法(DVM) , 电子结构 , 成键特性

氧化温度对工业纯钛氧化膜结构及阻氢性能的影响

刘玉 , 陈伟 , 韩兴博 , 陈德敏 , 刘实 , 吴尔冬 , 杨柯

金属功能材料

本文研究了氧化温度对工业纯钛氧化膜结构及阻氢性能的影响.利用XRD和SEM对氧化膜相组成、表面形貌和截面形貌进行了分析.结果表明:工业纯钛在500~700℃氧化后的氧化层主要由金红石结构TiO2组成;表层氧化物的晶粒尺寸及氧化层厚度随氧化温度的提高而增加;低于500℃氧化时,氧化物晶粒较为细小,氧化层厚度较薄;高于600℃氧化时,氧化物晶粒较为粗大,氧化层较厚.氧化层的阻氢性能由氧化层厚度及致密度共同控制;氧化温度低于500℃时,随着氧化温度的升高,氧化层的阻氢性能逐渐增强;氧化温度高于500℃时,因氧化层致密度降低,其阻氢性能随氧化温度的升高而降低.

关键词: 工业纯钛 , 氧化层 , 阻氢性能

管状样品中高温氢扩散系数的测定

刘实 , 郑华 , 贵全红 , 马爱华 , 于洪波 , 王隆保 , 杨洪广

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2004.04.013

采用气相渗透法测定了Cr18Ni10Ti奥氏体合金管材的氢扩散系数.设计了合适的测试装置,测试温度范围为360-600℃.分别对内表面涂铝及未涂铝的管材样品进行了中、高温度氢扩散系数测试.用有限差分方法计算了管材样品氢渗透曲线和氢扩散系数-特征时间曲线,从而能够处理扩散系数的测试数据涂铝管材的室温氢扩散系数为5.789×10-20m2/s,氢扩散激活能为8.144×104J/mol,分别比未涂铝管材低5-6个数量级和高1倍.

关键词: 氢扩散系数 , Cr18NNi10Ti , 管材 , 有限差分方法

热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析

李建国 , 刘实 , 李依依 , 胡东平 , 季锡林 , 梅军 , 周德惠

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.04.020

根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对空间场的影响.结果表明,衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合.只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大,其它沉积参数对衬底温度的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大.从热丝阵列的最低温度出发,优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比较适宜的热丝几何参数.

关键词: 热丝化学气相沉积 , 耦合模型 , 空间场 , 模拟计算

金刚石膜辐射探测器的研究进展

李建国 , 刘实 , 李依依 , 梅军 , 周德惠

材料导报

阐述了金刚石作为激发材料在辐射探测器中的应用范围,比较了硅、化学气相沉积(CVD)金刚石膜和天然金刚石作为探测器用激发材料的性能优劣,介绍了CVD金刚石膜辐射探测器的原理和结构,综述了金刚石辐射探测器的国内外研究进展,展望了CVD金刚石膜辐射探测器的应用前景.

关键词: CVD金刚石膜 , 辐射探测器 , 进展

磁控溅射Ti合金薄膜结构特征及贮氢性能

马爱华 , 郑华 , 于洪波 , 刘实 , 王隆保

材料研究学报

采用磁控溅射方法制备了Ti膜及TiMo、TiMoYAl和TiZrYAl等三种合金膜. 合金膜中Mo、Zr和Al三种元素成份与靶材成分基本一致, 而Y元素则与靶材成分有较大的偏差. 在400℃吸氢工艺下, 四种膜材的吸氢动力学性能良好, 没有脱膜现象, 饱和吸氢量均可超过1.5(H/M). 膜材的吸氢PCT曲线表明, 含Mo合金膜材具有最高的吸氢平衡压, 外推出的室温下的数量级约为10$^{-4}$Pa.

关键词:

材料制备工艺的计算机模拟

李殿中 , 张玉妥 , 刘实 , 李依依

金属学报

评述了计算机模拟技术在材料制备工艺中的作用、研究现状、动向与今后发展趋势.在此基础上对该领域的发展提出了若干建议

关键词: 制备工艺 , null

管状样品中高温氢扩散系数的测定

刘实 , 郑华 , 贵全红 , 马爱华 , 于洪波 , 王隆保

金属学报

采用气相渗透法测定了Cr18Ni10Ti奥氏体合金管材的氢扩散系数. 设计了合适的测试装置, 测试温度范围为360 --- 600℃. 分别对内表面涂铝及未涂铝的管材样品进行了中、高温度氢扩散系数测试. 用有限差分方法计算了管材样品氢渗透曲线和氢扩散系数--特征时间曲线, 从而能够处理扩散系数的测试数据. 涂铝管材的室温氢扩散系数为5.789X10 -20 m2/s, 氢扩散激活能为8.144X10 4 J/mol, 分别比未涂铝管材低5---6个数量级和高1倍.

关键词: 氢扩散系数 , Cr18Ni10Ti , tube

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