刘安玲
,
张为俊
,
高晓明
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2008.02.018
由于受激布里渊散射(SBS)介质大多为液体和气体,当提高重复运转频率或延长泵浦脉冲的持续时间时,其中的热积累和热驰豫将严重影响甚至破坏SBS的形成及其共轭品质.为改善SBS在高重复频率下的工作性能,实验考察了具有SBS相位共轭镜的MOPA(Master-oscillator-power-amplifier)系统中泵浦光发散度对布里渊池重复运转特性的影响.结果表明:降低泵浦光发散度有利于提高布里渊池的重复运转频率及改善SBS的时空特性,但会增加SBS阈值,减小布里渊池工作的泵浦能量范围,同时,保真度略有下降.
关键词:
非线性光学
,
受激布里渊散射
,
发散度
,
重复频率
刘安玲
,
张为俊
,
高晓明
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2009.04.016
受激布里渊散射(SBS)的频移量远大于受激热散射(STS),达到GHz的量级;而STS的频移量很小,一般只有几十MHz;在以前的实验中,要区分这两种散射需要非常复杂的实验系统,或者高精度、大测量范围的光谱分析仪器,这在一般的实验室条件下是难于满足的.实验研究了掺杂Cu(NO3)2的丙酮溶液中产生的STS与纯丙酮中的SBS的频率响应.结果显示:随着泵浦能量的增加,SBS的线宽随机起伏,而STS的线宽有规律地变化.这可以替代高精度、大测量范围的光谱仪或者复杂系统而成为一种简便的区分STS和SBS的方法.据我们所知,目前文献中尚无相关报道.
关键词:
非线性光学
,
受激热散射
,
受激布里渊散射
,
频率
周远
,
刘安玲
,
刘光灿
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2011.06.015
高数值孔径(NA)光刻中,需要控制衬底反射率以减小薄膜干涉对光刻性能的影响.采用薄膜光学方法研究了高NA光刻中底层抗反膜(BARC)对衬底反射率的控制.针对硅基底对单层和双层BARC进行优化以探索满足高NA光刻要求的BARC材料光学参数容限.结果表明,当NA超过0.8时,单层BARC无法控制衬底反射率而有必要采用双层BARC.横电(TE)比横磁(TM)偏振光的衬底反射率更难以控制.NA越大,单层BARC折射系数的优化值越大.双层BARC中的顶层膜应采用低吸收率材料而底层膜应采用高吸收率材料.本研究可为高NA光刻中的BARC材料研制及衬底反射率控制提供理论依据.
关键词:
薄膜光学
,
衬底反射率
,
底层抗反膜优化
,
高数值孔径光刻
