齐艳玲
,
朱艳兵
,
刘子庚
,
王为
电镀与精饰
doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2008.10.001
采用物理气相沉积的方法,以导电玻璃为基材沉积金属Ti薄膜,并将其作为阳极,在1% HF溶液中恒压阳极氧化,制备了具有纳米孔阵列结构的TiO2薄膜.研究表明,形成的TiO2薄膜具有多孔结构,微孔均为贯穿孔,孔形基本为圆形,孔径均匀,孔径大约为50 nm.在15℃溶液中阳极氧化相同时间制备的TiO2氧化膜的厚度显著大于25℃溶液制备的氧化膜厚度.TiO2氧化膜的厚度随着阳极氧化时间的延长而增加.
关键词:
物理气相沉积
,
金属钛薄膜
,
阳极氧化
,
TiO2纳米孔阵列
