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钛酸锶钡薄膜掺杂改性研究进展

方瑜 , 肖定全 , 刘娟妮 , 朱建国

材料导报

钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)薄膜具有优良的铁电、介电性能,在可调谐微波器件、动态随机存储器、红外探测器阵列等方面具有良好的应用前景.综述了近年来BST薄膜掺杂改性研究所取得的进展,特别是对晶格掺杂和晶界掺杂进行了较详细的评述,并对目前BST薄膜掺杂研究的几个前沿问题进行了详细的讨论.

关键词: 钛酸锶钡薄膜 , 掺杂改性 , 铁电薄膜