赵彦辉
,
徐丽
,
于海涛
,
赵升升
,
刘占奇
,
于宝海
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.016
综述了硬质多元氮化物薄膜的研究进展,主要是从硬质薄膜的发展历程上,介绍了每一代薄膜的产生及其特点.同时介绍了硬质多元氮化物薄膜的结构及其性能特点.着重从如何提高薄膜硬度和韧性方面进行了详细介绍,对几种硬化机制进行了论述,包括晶粒细化、晶界强化、固溶强化及离子轰击/应力硬化.同时还介绍了提高薄膜韧性的方法,包括引入一个韧性相(包括金属相)、利用相变韧化、引入压应力韧化、优化涂层结构等.同时还指出,硬度和韧性都是硬质薄膜获得实际应用的重要指标.单纯追求高硬度或高韧性是不可取的,因为硬质薄膜一般脆性较大,而韧性好的薄膜却缺乏足够的硬度.从工程应用的角度来说,既要得到较高的硬度,而且韧性不能损失太多.最后指出,今后的发展方向要将硬化和韧性的研究集中在纳米尺度上,即如何在纳米尺度上进一步理解薄膜的变形.
关键词:
硬质多元氮化物薄膜
,
组织结构
,
硬度
,
韧性
,
强韧化机制
