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磁控溅射AuNi5的热处理

余前春 , 张晓辉 , 范金铎 , 何毅 , 刘凤龙 , 江轩

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.01.033

采用磁控溅射方法制备了AuNi5/Ni两层复合材料中的AuNi5膜层, 并对样品进行退火处理. 应用金相显微分析、划痕法和SEM, 研究了AuNi5膜层的结构及性能特点. 经退火后, 分析了AuNi5膜层与Ni基体层间的元素互扩散、结合强度及应力与热处理工艺的关系. Ni层的处理和表面状态对AuNi5膜层和Ni金属层间的结合强度有重要的影响.

关键词: 磁控溅射 , 热处理 , 结合强度 , 互扩散

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