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基体温度对金刚石厚膜沉积质量的影响

黄树涛 , 刘兴文 , 许立福 , 于骏一

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2003.03.028

为探讨燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的可能及其沉积速率,在反应气体流量比O2/C2H2=0.97~1范围内,研究了基体温度对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响.结果表明,基体温度在610~730℃范围内可沉积出均匀、致密、结晶形态优良的金刚石厚膜;金刚石厚膜沉积速率随基体温度的下降而下降,基体温度约为730℃时...

关键词: 化学气相沉积 , 燃焰法 , 金刚石厚膜

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