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ZnO基紫外光电探测器的研究进展

刘云燕 , 袁玉珍 , 李洁 , 高绪团

材料导报

ZnO基紫外光探测器被认为是目前研究紫外探测器的重点之一.简要介绍了ZnO基紫外光探测器采用的基本结构:包括光电导型、肖特基势垒型以及p-n结型;比较了不同结构的ZnO紫外光探测器所具有的优缺点,对光电导型、肖特基势垒型以及p-n结型紫外光探测器近几年的发展分别进行了详细评述.

关键词: ZnO基 , 紫外光探测器 , MSM , 光电导 , 肖特基势垒 , p-n结

膜厚对Zr,Al共掺杂ZnO透明导电薄膜结构和光电性能的影响

袁玉珍 , 王辉 , 张化福 , 刘汉法 , 刘云燕

人工晶体学报

采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备出Zr,Al共掺杂ZnO(AZZO)透明导电薄膜.用XRD和SEM分析和观察了薄膜样品的组织结构和表面形貌.研究表明:制备的AZZO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.另外还研究了薄膜的结构、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.当薄膜厚度为843 nm时,电阻率具有最小值1.18×10~(-3) Ω·cm,在可见光区(500～800 nm)平均透过率超过93%.

关键词: 磁控溅射 , Zr,Al共掺杂ZnO , 膜厚 , 透明导电薄膜

柔性透明导电薄膜ZAO

张化福 , 袁玉珍 , 刘云燕

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.04.019

随着电子器件向小型化和轻便化方向发展,柔性衬底的透明导电薄膜有望成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品,因此其研究备受关注.柔性透明导电薄膜ZAO具有优异的光电性能且资源丰富、成本低、对环境无污染,成为当前的研究热点.总结了近年来对柔性衬底材料处理的方法,介绍了柔性透明导电薄膜ZAO的结构和光电特性.评述了柔性ZAO薄膜的研究现状,并对其近期研究和应用工作做了展望.

关键词: ZAO薄膜 , 柔性衬底 , 透明导电薄膜

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