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溶胶凝胶法混合掺杂SnO2薄膜的返回特性研究

朱惠宗 , 冯金垣

功能材料与器件学报

在常温、加温和光照三种环境下,通过采用溶胶凝胶法在玻璃基片上制备成的混合掺杂Cu_TiO2和Fe_TiO2的SnO2薄膜在乙醇、丙酮两种气氛作用下进行气敏反应前后的光反射谱测试,研究薄膜的返回特性.研究分析表明,掺杂SnO2薄膜在常温返回特性不理想,在100℃加温3分钟和红外线光照10分钟后,掺杂SnO2薄膜测试光反射谱表明返回特性表现良好,能在较短时间和较宽波段内返回.

关键词: 溶胶凝胶法 , 掺杂SnO2薄膜 , 返回特性

溶胶凝胶法混合掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究

邓焯泳 , 朱惠宗 , 冯金垣

功能材料与器件学报

采用溶胶凝胶法在玻璃基片上制备混合掺杂Cu_TiO2和Fe_TiO2的SnO2薄膜,常温下对不同掺杂浓度的薄膜在丙酮、乙醇两种气氛作用下进行气敏光学特性测试.研究分析表明,1% Fe_TiO2_SnO2混合掺杂薄膜的乙醇特性灵敏度在较宽波段保持15%左右;5% Cu_TiO2一SnO2混合掺杂薄膜的丙酮气敏特性最好,灵敏度最高可达23.9%.

关键词: 溶胶凝胶法 , SnO2 , 气敏 , 光反射率 , 灵敏度

掺铜SnJO2薄膜的光学气敏特性

冯金垣 , 李伟杰 , 郝延华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.02.004

采用磁控溅射的方法,在玻璃基片上制作出SnO2-Cu-SnO2-Cu-SnO2的5层式多层复合薄膜.并且在常温下使用分光光度计检测出,当它接触到酒精和丙酮气氛的情况下,其反射率在可见光范围的某些波段有变化,气敏特性与纯SnO:薄膜的相似,同时具有更佳的反应效果.

关键词: 磁控溅射 , SnO2 , 反射率

Sol-Gel法制备掺钛SnO2薄膜的返回特性研究

孔镇 , 许瀚朗 , 冯金垣

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.02.007

在常温、加温和紫外线三种环境下,通过对Sol - Gel法(溶胶凝胶法)制备成的5%、10%及15%钛掺杂SnO2薄膜在乙醇、丙酮两种气氛作用下进行气敏反应前后的光反射谱测试,研究薄膜的返回特性.研究分析表明,加温环境中钛掺杂SnO2薄膜的返回特性比常温环境中的效果要好很多,返回所需时间能从十小时缩短至五分钟.此外,紫外光照射下返回特性较好,返回时间较短,而且更为安全、便利,相信在未来的发展中能有更广泛的应用.

关键词: 溶胶凝胶法 , 掺钛SnO2薄膜 , 返回特性 , 气敏反应

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