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SiO₂薄膜对蓝宝石红外透过性能的改善

冯丽萍，刘正堂，李强

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00529

采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石衬底上制备了SiO₂薄膜, 测试了镀膜前后蓝宝石试样的红外透过率, 测试并分析了镀膜与未镀膜蓝宝石试样在高温及雨蚀后的红外透过性能. 结果表明, 蓝宝石衬底上镀SiO₂膜后红外透过率明显提高; 在高温下, SiO_2<...

关键词: 蓝宝石 , infrared transmission , SiO2 film , rain erosion