苟昌华
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武明珠
,
郭永林
,
杨永强
,
关晓亮
,
段羽
,
王红波
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153004.0602
铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO TFT)因具有场效应迁移率高,大面积均匀性好,无定型态等特点,被认为是显示器朝着大尺寸、柔性化方向发展的新型背板技术.源漏电极与有源层之间的接触氧化会增大器件的接触电阻,从而导致器件的性能降低.利用未退火IGZO具有氧含量低、氧空位多、电导率高的特点,提出采用未退火...
关键词:
薄膜晶体管
,
InGaZnO
,
接触电阻
,
缓冲层
