黄常刚
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王朝阳
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唐永建
,
闫红梅
,
王美丽
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关峰
功能材料
以间苯三酚和甲醛为前驱体制备出了间苯三酚-甲醛气凝胶(PF)及碳气凝胶(CPF),并对气凝胶的结构进行了表征;采用自动吸附仪测定了1.01×10Pa内和液氮温度下PF/CPF气凝胶的氢吸附性能.实验结果表明在该条件下PF/CPF气凝胶氢吸附等温线为第一类微孔型吸附等温线;氢吸附量质量密度分别为1.73%和2.42%,碳化能显著提高气凝胶的氢吸附性能,有望通过改善气凝胶的结构增加微孔数量来提高氢吸附量以实现实际应用.
关键词:
氢
,
吸附
,
气凝胶
,
间苯三酚(P)
,
甲醛(F)
侯海乾
,
王朝阳
,
唐永建
,
付志兵
,
刘淼
,
关峰
功能材料
为控制间苯二酚-甲醛气凝胶的结构和凝胶化时间,制备高质量的RF气凝胶空心微球,进行了间苯二酚-甲醛气凝胶的粘度实验研究.用超声波粘度计在线监测了RF体系凝胶生长过程的粘度变化及讨论了粘度变化的不同区间对RF成球质量的影响.RF凝胶体系的粘度主要由成核阶段(BC)、生长阶段(CD)、凝胶阶段(DE)3部分构成,当RF溶液的粘度控制在BC区间的后期到CD区间的前期之间(26～40mPa·s),配置合理的工艺参数,制备了高质量的空心微球.
关键词:
RF空心微球
,
粘度
,
凝胶过程
,
在线监测
高锦成
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李正亮
,
曹占锋
,
姚琪
,
关峰
,
惠官宝
硅酸盐通报
为优化金属氧化物薄膜晶体管（ IGZO-TFT）的特性，采用射频磁控溅射法沉积IGZO薄膜作为半导体活性层，制备出具有刻蚀阻挡层（ Etch stop layer ，ESL）结构的IGZO TFT，在2．5 G试验线上研究了IGZO沉积过程中O2浓度、IGZO沉积后N2 O等离子体处理、ESL的制备温度和ESL沉积过程中N2 O／SiH4的比例等关键工艺条件对IGZO TFT的阈值电压（ Vth ）的影响。实验结果表明：IGZO沉积过程中O2浓度的增加、IGZO沉积后N2 O等离子体处理和ESL制备温度的降低会导致IGZO TFT的Vth正偏移。
关键词:
铟镓锌氧化物薄膜晶体管
,
刻蚀阻挡层
,
N2 O等离子体
,
阈值电压
