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直流电弧等离子喷射CVD中控制生长(111)晶面占优的金刚石膜

周祖源 , 陈广超 , 戴风伟 , 兰昊 , 宋建华 , 李彬 , 佟玉梅 , 李成明 , 黑立富 , 唐伟忠

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.03.010

运用光发射谱(OES)技术对大功率直流电弧等离子喷射CVD金刚石膜的气相沉积环境进行了原位诊断,研究了气相环境中主要含碳基团的浓度及分布与沉积参数的关系,发现了C2基元比其他基元对沉积参数更加敏感.利用光发射谱对C2基元发射强度的监测,实时调控沉积各参数,在大功率直流电弧等离子喷射CVD中实现了(111)晶面占优的金刚石膜的可控生长,I(111)/I(220)XRD衍射峰强度的比值达48.

关键词: 光发射谱 , 金刚石膜 , 直流电弧等离子喷射CVD , (111)占优晶面

Pt对CoNiCrAlY合金氧化行为的影响

兰昊 , 杨志刚 , 张玉朵 , 张弛

稀有金属材料与工程

利用扫描电镜、维氏硬度计、X射线衍射和能谱分析研究了CoNiCrAlY合金及添加3%、5%Pt(质量分数)改进的CoNiCrAlY合金组织、硬度及恒温氧化行为.结果表明:Pt在合金中形成了一种-(Ni,Pt)Al相,显著改变了合金的组织;Pt的添加使得合金的硬度有了略微的提高;Pt促进了亚稳态的θ-Al2O3向稳态a-Al2O3的相转变,降低合金的氧化速率,Pt还抑制了β-相的消耗及内氧化的产生,提高了合金的抗氧化性能.

关键词: Pt , CoNiCrAlY合金 , 氧化行为

热处理对CoNiCrAlY(Re)合金氧化行为的影响

兰昊 , 杨志刚 , 张玉朵 , 张弛

稀有金属材料与工程

利用X 射线衍射、扫描电镜和能谱分析研究了热处理前后的CoNiCrAlY(Re)合金在1000 ℃空气中的恒温氧化行为.结果表明:热处理有利于富铝相在合金中的均匀分布;热处理促进合金较快地进入稳定氧化阶段,且降低了合金的氧化速率;与不含Re 的合金相比,含Re 合金在初始氧化阶段具有较高的氧化增重及较快的亚稳态的θ-Al2O3向稳态的α-Al2O3相转变.

关键词: CoNiCrAlY合金 , Re , 热处理 , 氧化行为

Al含量变化对CoNiCrAlYRe合金氧化行为的影响

兰昊 , 杨志刚 , 张玉朵 , 张弛

稀有金属材料与工程

利用X射线衍射仪、扫描电镜和能谱分析研究不同铝含量的CoNiCrAlYRe合金在1000℃空气中的恒温氧化行为.结果表明:铝含量的增加促进了合金中富Cr相在γ、β相界面处的析出;铝含量的增加显著抑制了尖晶石氧化物的形成;高铝含量合金中存在的富Cr层有利于致密氧化膜的形成,从而降低了氧化速率,提高了合金的抗氧化性能.

关键词: Al , CoNiCrAlYRe合金 , 氧化行为

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