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氢和硼离子轰击可消除(001)面多晶金刚石膜的空位缺陷

夏义本 , 史伟民 , 王林军 , 居建华 , 八百隆文

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.001

在微波等离子体化学气相沉积金刚石膜时，采用负偏压使氢和硼离子轰击金刚石膜表面。 发现单纯的氢离子的轰击会导致表面刻蚀，可使(001)面颗粒尺寸增大。用扫描电镜（SEM）和阴极 发射光谱（CL）分析了硼离子掺杂后[001]取向的金刚石膜表面，发现CL中A峰消失，表明薄膜中 位错密度降低。首次发现CL谱中741.5nm峰和575nm到625nm宽峰明显下降，表明在金刚石膜 中,中性空位和氮空位缺陷基本消失,利用小原子穿透理论解释了这个现象。

关键词: 穿透效应 , 轰击 , 阴极发光