倪静
,
陈志梅
,
吴卫东
,
杨向东
,
唐永建
功能材料
以CH4和N2为反应气体,采用空心阴极放电激发的等离子体增强化学气相沉积法在Si片上制备出了氢化非晶碳氮(a-CNx:H)薄膜.利用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面光洁度及表面形貌进行了测量和表征.利用X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶红外吸收谱(FTIR)和纳米压入(nano-indentation)等测试手段分析了薄膜的成分、结构及力学性能.结果表明:薄膜的表面光滑、致密,表面光洁度＜1nm.薄膜的最大N含量达到了26.39%(原子分数),对应的N/C为0.41.XPS和FTIR分析表明:薄膜中的C、N原子是通过C-N、CN、C≡N结合的,同时存在一定量的-CHx和-NHx基团.另外,我们发现薄膜的硬度及弹性模量随N2/CH4比的增加而增加,并且主要受微观结构(C-N/C≡N比)的影响.
关键词:
a-CNx:H
,
空心阴极
,
纳米压入
,
硬度
,
模量
王燕
,
倪静
,
刘澄
,
胡静
稀有金属材料与工程
选取TA2工业纯钛为研究对象进行热氧化处理,研究热氧化处理后试样表层物相构成、显微硬度、耐磨性和在浓盐酸中的耐腐蚀性.结果表明,热氧化后TA2表面形成了金红石型TiO2氧化膜,TiO2氧化层厚度随热氧化温度升高而增加;表层显微硬度随热氧化温度升高而提高.热氧化使TA2耐磨性和在36%～38% 浓盐酸中耐腐蚀性明显改善,其中700 ℃为改善TA2耐磨性和耐蚀性的最佳热氧化工艺.
关键词:
工业纯钛
,
热氧化
,
显微硬度
,
耐磨性
,
耐腐蚀性
