李铸国
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俞海良
,
吴毅雄
,
三宅正司
金属学报
利用诱导型等离子体辅助双靶磁控溅射法在Si(100)基板表面沉积Cu含量(原子分数)为0—10.0% 的Ti-Cu-N膜, 研究了Cu含量对薄膜结构及硬度的影响. 结果表明, 添加少量Cu可极大地提高薄膜硬度. Cu含量为2.0%的Ti-Cu-N薄膜具有超硬特性, 硬度HV达到42, 约为纯TiN薄膜硬度的2倍. 超硬质Ti-Cu-N薄膜为nc-TiN/nc-Cu纳米复合薄膜, 具有柱状晶结构. 薄膜的超硬特性源于薄膜的纳米复合结构.
关键词:
磁控溅射
,
ion irradiation
,
nanocomposite film
,
hardness
杨尚磊
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吕学勤
,
俞海良
,
楼松年
,
邹增大
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2004.12.004
碳化钛的形成依赖于钛、钒等强碳化物形成元素,高温电弧冶金反应时钛、钒能够直接与碳化合生成TiC和VC.用扫描电镜(SEM)、电子探针(EMPA)对TiC-VC形态及分布进行了研究,探讨了TiC-VC形成的机理.结果表明:TiC-VC主要在熔滴反应阶段生成并形核,熔池反应阶段聚集长大并在熔渣和熔敷金属界面发生扩散.TiC-VC的形成固定了大量碳元素,避免了结晶和相变过程中二次碳化物沿晶界网状析出.
关键词:
TiC-VC
,
电弧冶金
,
堆焊
王迎春
,
李延民
,
丁建君
,
俞海良
,
李建国
,
周尧和
功能材料
脉冲激光沉积法制备HAP生物陶瓷涂层是近年来发展的制备生物陶瓷涂层的一个十分活跃的研究领域.本文简要介绍了它的研究背景、原理与特点,并对其四个研究方向-溅射机理,沉积条件与涂层质量的关系,脉冲激光沉积新工艺,HAP涂层的生理功能的研究现状进行了概括与总结.
关键词:
脉冲激光沉积
,
生物陶瓷涂层
,
溅射机理
,
沉积条件
,
生物相容性
李铸国
,
俞海良
,
吴毅雄
,
三宅正司
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2006.09.019
利用诱导型等离子体辅助双靶磁控溅射法在Si(100)基板表面沉积Cu含量(原子分数)为0-10.0%的Ti-Cu-N膜,研究了Cu含量对薄膜结构及硬度的影响.结果表明,添加少量Cu可极大地提高薄膜硬度.Cu含量为2.0%的Ti-Cu-N薄膜具有超硬特性,硬度HV达到42,约为纯TiN薄膜硬度的2倍.超硬质Ti-Cu-N薄膜为nc-TiN/nc-Cu纳米复合薄膜,具有柱状晶结构.薄膜的超硬特性源于薄膜的纳米复合结构.
关键词:
磁控溅射
,
离子照射
,
纳米复合膜
,
硬度
