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卢云 , 刘俊 , 侯应应 , 于大蔚 , 陈大恺
功能材料
研究了阳极氧化三氧化二铝多孔膜的制备工艺,采用两步阳极氧化法和独特的后处理工艺获得了孔洞分布均匀、孔径大小一致且耐水合的多孔氧化膜,分析了传感器的湿敏特性:传感器的湿滞<2%,响应时问<10s,恢复时间<40s,性能非常优良.
关键词: 湿度传感器 , 氧化铝 , 多孔膜 , 金电极
卢云 , 侯应应 , 刘俊 , 陈大凯 , 于大蔚
材料导报
研究了多孔氧化铝薄膜的制备工艺以及影响其成孔效果的主要因素.采用分步阳极氧化的方法和适当的工艺步骤获得了孔洞分布均匀、孔径一致且耐水合的多孔氧化膜,此类氧化薄膜在经过后续的特殊处理后可以用于制备湿度传感器和AAO薄膜.
关键词: 阳极氧化 , 多孔三氧化二铝薄膜 , 影响因素
