韩辉
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王民
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许效红
,
侯云
,
王栋
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王重海
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2004.02.023
通过MOD法,以硝酸铋、钛酸四丁脂为原料,制备了钛酸铋(Bi4Ti3O12)超细粉体.通过对比2种不同的钛酸铋前驱体合成方法,表明采用燃烧法得到的前驱体可以明显降低Bi4Ti3O12的合成温度,在550℃已能得到粒度约为100nm无团聚高纯超细钛酸铋粉体.
关键词:
钛酸铋
,
MOD
,
超细粉体
,
燃烧
许效红
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王民
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侯云
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王栋
,
王弘
,
王卓
功能材料
采用低压MOCVD法沉积生长了TiO2薄膜,研究了Si衬底取向、退火温度、退火时间、退火气氛对其结构和电性能的影响.结果表明,500℃下沉积生长于Si(111)和Si(100)上的TiO2薄膜为锐钛矿相多晶膜,经过600℃以上退火处理后,均可转变为纯金红石相结构.其中,Si(111)上的TiO2薄膜更容易转变为金红石相结构,而Si(100)上的TiO2薄膜,需要更高的退火温度和更长的退火时间才能转变为金红石结构.结果还表明,退火气氛中的氧分压的大小对TiO2薄膜的结构无明显的影响.
关键词:
金属有机化学气相沉积
,
MOCVD
,
TiO2薄膜
,
金红石
