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佟洪波 , 柳青
表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2008.03.024
薄膜电致发光(TFEL)显示是一种对材料有着严格要求的比较复杂的光电子器件.该多层结构通常包括2个电极,2个绝缘层和1个半导体发光层.在介绍了薄膜电致发光器件结构及工作原理的基础上,重点介绍了红色、绿色、蓝色和白色发光材料的研究现状,并讨论了薄膜电致发光材料的发展趋势.
关键词: 电致发光 , 薄膜 , 发光材料
表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.03.033
应用蒙特卡罗程序TRIM对Ar+轰击AIN的微观过程进行了模拟.对不同能量以及不同角度下Ar+轰击AlN引起的溅射产额进行了系统的研究.随着入射离子能量的逐渐增加,AlN的溅射产额呈上升趋势.AlN的溅射产额随入射角增加而逐渐升高,在75°左右达到峰值,超过75°后,溅射产额急剧下降.实验发现垂直入射时和斜入射时,Al和N两元素的分溅射产额的比值变化规律有着明显的不同.
关键词: AlN薄膜 , 溅射产额 , 蒙特卡罗模拟
