材料期刊网

微型机械材料的残余应力测量

何日晖 , 叶雄英 , 周兆英

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2001.04.010

硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料，它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命，而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机械薄膜材料残余应力的测量原理、方法和特点，可供微机电系统的设计和制造者参考。

关键词: 微型机械 , 力学特性 , 残余应力