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化学气相沉积法制备TiB2涂层工艺的研究

孙彩云 , 何庆兵 , 李立 , 张隆平 , 易同斌 , 吴护林

表面技术

以TiCl4-BCl3-H2为反应体系,采用化学气相沉积技术,在低碳钢和石墨表面成功沉积了TiB2涂层,并研究了沉积温度、气体流量和基体类型对涂层显微结构和显微硬度的影响.结果表明:沉积温度较高时,低碳钢表面的TiB2涂层晶粒取向随机,结晶度较好,沉积温度较低时则呈柱状晶,晶粒取向随机时的显微硬度高于呈柱状晶时的显微硬度;基体类型对涂层沉积速率的影响显著,在980℃,BCl3流量100 mL/min的条件下沉积1h,低碳钢表面的涂层厚度为20μm,而石墨表面的涂层厚度为44~ 70 μm.

关键词: TiB2涂层 , 显微结构 , 沉积速率

化学气相沉积钨涂层及抗烧蚀性能研究

张昭林 , 李忠盛 , 何庆兵 , 易同斌

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2005.04.015

利用X射线荧光能谱仪、扫描电镜及其能谱仪和显微硬度计等方法对CVD法制备的钨涂层进行了成分、显微组织分析,并测试了其显微硬度以及抗烧蚀性能.研究结果表明,采用化学气相沉积法,能在炮钢基体上制备致密均匀的高纯钨涂层,其纯度大于99.9%,并且钨涂层具有典型的柱状晶体结构,同时具有良好的抗烧蚀性能.

关键词: 化学气相沉积 , 钨涂层 , 抗烧蚀

7A55铝合金微弧氧化陶瓷膜的组织与性能

李忠盛 , 吴护林 , 潘复生 , 张隆平 , 何庆兵

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2010.5.011

研究了7A55铝合金表面微弧氧化陶瓷膜的生长曲线、形貌、元素分布和相组成,测试了陶瓷膜与基体的附着力.结果表明,膜层厚度随着氧化时间的延长而增加,在不同的氧化阶段生长速率不同,膜层以向外生长为主;膜层为单层结构,Al,O元素含量基本保持不变,Mg元素参与了氧化反应;膜层主要由α-Al2O3和γ-Al2O3相组成,其中γ-Al2O3相含量较多;膜层与基体间的结合良好,划痕临界破坏载荷为897mN.

关键词: 微弧氧化 , 铝合金 , 陶瓷涂层 , 组织

沉积温度对TiB2涂层的组成与形貌的影响

陈大军 , 吴护林 , 张隆平 , 孙彩云 , 李忠盛 , 何庆兵

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2009.03.010

利用TiCl4-BCl3 -H2-Ar反应体系,用化学气相沉积法(CVD)在石墨基体上沉积了TiB2涂层,并对涂层的物相、沉积速率、微观结构、表面形貌进行了分析.结果表明:沉积的涂层物相由TiB2组成.随着沉积温度的提高,沉积速率加快,涂层的显微硬度先增加后降低,950℃时达到最大值.沉积温度的升高,TiB2涂层颗粒尺寸明显增大,在900℃~950℃范围内能沉积出结构致密、颗粒尺寸适合的TiB2涂层.分析了TiB2涂层的沉积机理.

关键词: TiB2 , 化学气相沉积 , 涂层形貌 , 物相组成

氧化时间对7A55铝合金微弧氧化膜的影响

李忠盛 , 吴护林 , 潘复生 , 张隆平 , 何庆兵

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2009.03.005

采用恒流微弧氧化法在碱性硅酸盐-磷酸盐体系电解液中对7A55铝合金进行了微弧氧化处理,研究了氧化时间对微弧氧化膜表面形貌、厚度和相组成的影响.研究结果表明,在恒定的电参数(电流密度为6A/dm2,占空比均为30%,频率为1000Hz)条件下,随着氧化时间的延长,阳极电压逐渐增大,氧化膜表面微孔孔径逐渐增大,微孔数量逐渐减少,膜层厚度随氧化时间近似呈线性增加;膜层主要由γ-Al2O3相组成.

关键词: 微弧氧化 , 7A55铝合金 , 氧化时间 , 组织结构

磁控溅射法制备TiB2涂层的研究进展

孙彩云 , 何庆兵 , 李立 , 张隆平 , 吴护林

材料导报

TiB2熔点高、硬度高、密度低、电阻率低、高温下化学稳定性好,是一种应用潜力巨大的涂层材料.磁控溅射法是一种重要的制备TiB2涂层的物理气相沉积方法,具有沉积温度低、基体可选择范围大的优点.分析和总结了偏压大小与极性、基体温度和气压等工艺参数对涂层沉积速率、显微结构(包括形貌、结晶度、织构和晶粒尺寸等)、性能(包括硬度、弹性模量、结合强度和摩擦学性能)和残余应力的影响,并概括了目前降低残余应力的途径.

关键词: TiB2涂层 , 磁控溅射法 , 性能 , 残余应力

低压等离子喷涂技术在功能性涂层的应用进展

朱军亮 , 赵子鹏 , 易同斌 , 何庆兵 , 王征辉

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.01.018

与常规等离子喷涂相比,低压等离子喷涂技术在真空或低压下进行等离子喷涂,可制备更低杂质、更高致密度、更高结合强度的涂层. 介绍了常规等离子喷涂焰流速度高、工艺稳定性好、沉积效率高、可控性好的特点,详细阐述了低压等离子喷涂技术清洁、高速、长焰流、预热、电清理的工艺优势,说明了低压等离子喷涂技术在热障涂层、抗气蚀涂层、面向等离子体材料等功能性涂层制备上的应用,最后从完善相关理论、与其他技术联用、工艺在线可控、气氛压力更低等方面,以及在航空、航天、电子等领域的运用,对低压等离子喷涂技术的发展进行了展望.

关键词: 低压等离子喷涂技术 , 热障涂层 , 抗气蚀涂层 , 面向等离子体材料

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