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纳米Si薄膜的结构及压阻效应

何宇亮 , 林鸿溢 , 武旭辉 , 余明斌 , 于晓梅 , 王珩 , 李冲

材料研究学报

使用HREM及STM技术检测了纳米Si薄膜的微结构纳米Si薄膜由大量的细微Si晶粒以及大量的晶粒间界面区组成.这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量.本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用,并认为纳米Si薄膜材料将是一种理想的传感器材料

关键词: 纳米Si薄膜 , null , null , null

纳米硅薄膜及其太阳电池研究进展

钟立志 , 张维佳 , 吴小文 , 何宇亮

功能材料

纳米硅薄膜具有新颖的结构特征和一系列独特的物理性质,可望应用于新型光电子器件、量子功能器件、集成电路等领域.本文综述了纳米硅薄膜的研究现状及其优良的光电性能和纳米硅薄膜太阳电池的研究进展,指出在生产制备与性能方面纳米硅薄膜太阳电池所具有的优势,具有良好的发展前景.

关键词: 纳米硅薄膜 , 太阳电池 , 光电性能 , 进展

纳米硅薄膜研究的最新进展

彭英才 , 何宇亮

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1999.01.009

纳米硅薄膜(nc-Si:H) 是一种新型低维人工半导体材料,它具有新颖的结构特征与独特的物理性质.综合评述了这种材料在制备方法、结构特征、输运性质和发光特性等方面的最新研究进展,并指出了今后的发展方向.

关键词: 纳米硅薄膜 , 制备方法 , 结构特征 , 输运性质 , 光学特性

PECVD工艺参数对nc-Si:H膜质量的影响

彭英才 , 刘明 , 何宇亮

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.04.009

研究了PECVD生长nc-Si:H膜过程中SiH4气体稀释比、平衡反应气压、衬底温度、等离子体射频功率和直流负偏压等各种工艺参数对生成膜层质量的影响,探讨了提高膜层质量的新途径.

关键词: nc-Si:H膜 , 膜层质量 , 工艺参数

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