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3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜研究

陈家俊 , 陶伯万 , 邓新武 , 刘兴钊 , 李德红 , 张鹰 , 何世明 , 李言荣 , 羊恺 , 张其劭

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2003.z1.004

本文采用倒筒直流溅射方法(ICS)结合基片变速双轴旋转方式原位生长Φ3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜.膜厚分布最大偏差小于10%,薄膜样品的中心与边缘部分的Tc0均达到90K,ΔTc≤0.3K,FWHM(005)≈0.2°,Rs(10GHz,77K)≈0.8mΩ,Jc值分布在2.2~3.1MA*cm-2之间,表明样品均匀性良好.

关键词: 高温超导薄膜 , YBCO , 均匀性

STO/YBCO薄膜的制备及介电性能研究

李德红 , 刘兴钊 , 何世明 , 陆清芳 , 李言荣 , 张鹰 , 申妍华 , 陈家俊

功能材料

采用脉冲激光沉积技术,在(100)LaAlO3单晶基片上生长SrTiO3/Y1Ba2Cu3O7-x(STO/YBCO)多层薄膜.XRD分析表明:YBCO薄膜和STO薄膜均为C轴取向,STO(002)/YBCO(006)衍射峰摇摆曲线半高宽为0.73°.AFM分析表明,STO/YBCO多层薄膜表面平整、均匀,在77K,100kHz的测试条件下,STO薄膜介电损耗tgδ<10-2,在53.6kV/cm电场作用下,介电常数的相对变化为38%.

关键词: STO , 铁电薄膜 , 脉冲激光沉积 , 界面势垒

铁电压控谐振器的研究

曹春海 , 徐筱乐 , 何世明 , 周建明 , 刘兴钊 , 王烨 , 李言容 , 李拂晓

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.03.012

研究了单端加载铁电叉指电容的微带半波长谐振器的压控特性.铁电材料为LaAlO3衬底上脉冲激光淀积的SrTiO3,叉指电容电极为金.测量了谐振器77K下的压控谐振性能.谐振频率在6GHz左右,70V偏压下的压控频率范围大于180MHz.在10~40V内,谐振频率与偏置电压之间呈良好的线性关系,谐振器的有载Q值为60~90.

关键词: 铁电材料 , 压控器件 , 微波谐振器

基于非线性介电薄膜的电调滤波器优化设计

吴达军 , 何世明 , 刘兴钊 , 李言荣

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.04.010

采用脉冲激光沉积(PLD)法在(001)MgO基片上制备出高质量的SrTiO3(STO)薄膜,构建了Au/STO/MgO结构的叉指电容.在77K、10KHz条件下,对叉指电容的特性进行了测试,结果表明:在40kV/cm的直流电场作用下,电容值从1.75 pF减小为1.25 pF,电容值的相对变化率为28.5%.在此基础上,根据多层介质叉指电容保角变换模型.定量计算和仿真了STO薄膜的介电常数和微波频率下叉指电容的性能参数,并由此设计了一个三阶带通滤波器,该滤波器可实现13.50%的中心频率移动.

关键词: STO , 薄膜 , 介电性质 , 叉指电容 , 滤波器

生长温度对PLD原位生长SrTiO3薄膜结构与非线性介电性能的影响

何世明 , 李言荣 , 刘兴钊 , 陶伯万 , 段滨

功能材料

采用脉冲激光沉积法(PLD)制备的Y1B2Cu3O7-x薄膜作为叉指底电极,然后生长SrTiO3介质薄膜,形成叉指型压控电容结构.通过对SrTiO3薄膜的原位生长温度与薄膜微观结构及非线性介电性能之间的关系研究,发现随生长温度的升高薄膜晶粒逐步增大然后变小,薄膜的介电常数可调率和本征介电损耗随晶粒大小的增大而增加,而非本征损耗则随晶粒取向的增加而减小.

关键词: SrTiO3薄膜 , 介电性能 , 叉指电容 , 非线性

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