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ZnO∶Al薄膜制备及光电性能研究

郅晓 , 朱涛 , 任洋 , 李颖 , 赵高扬

功能材料

利用溶胶-凝胶法在玻璃基板上制备了Al/Zn原子掺杂比例为0~0.25的掺铝氧化锌(ZnO∶Al或AZO)薄膜,随后分别将其在空气,氧气和氮气3种不同气氛中退火处理,研究了薄膜的光学、电学与结构方面的性质.X射线衍射分析表明AZO薄膜是具有c轴择优取向的六方纤锌矿结构多晶体;通过紫外-可见光分光计测定表明该薄膜在可见光范围内具有>80%的高透过率,随着铝掺杂比例的增大光学能隙增大且吸收边向短波方向移动.

关键词: 掺铝氧化锌 , 溶胶-凝胶 , 电阻率 , 光学带隙

热处理气氛对溶胶凝胶法制备CuAlO2薄膜的影响

任洋 , 赵高扬 , 李颖 , 章晨曦 , 高贇 , 刘灵军

材料热处理学报

采用溶胶凝胶法,通过控制热处理气氛在石英玻璃基片上制备了光电性能优良的CuAlO2薄膜,研究了氧气和氮气对CuAlO2薄膜制备的影响.结果表明,CuAlO2薄膜的制备先后经历了凝胶膜的热分解、无定形薄膜、固相反应、CuAlO2形核与长大4个过程.固相反应阶段前通氧气,能够促进中间产物CuO的生成,之后通氮气可以使中间产物CuO与CuAl2O4发生固相反应生成CuAlO2,最终制备的CuAlO2薄膜结晶状况良好、晶粒较大,表面均匀致密,没有孔洞,电阻率为250 Ω·cm,薄膜在700 nm处的透过率为75.5%.

关键词: CuAlO2 , 薄膜 , 热处理 , 气氛 , 溶胶凝胶

过渡层(SiO2,TiO2)对F掺杂SnO2薄膜的光电性能影响研究

高赟 , 赵高扬 , 任洋

人工晶体学报

采用喷雾热解法分别在普通钠钙玻璃、含SiO2过渡层与TiO2过渡层的玻璃上制备了F掺杂SnO2薄膜,比较了不同过渡层上生长的F掺杂SnO2薄膜的表面形貌特点,分析了过渡层对F掺杂SnO2膜层的光电性能的影响.结果表明,过渡层种类对F掺杂SnO2薄膜各项性能影响很大,在SiO2薄膜过渡层上制备的F掺杂SnO2薄膜晶粒最小且表面致密,在TiO2过渡层制备的F掺杂SnO2薄膜晶粒最大,在玻璃上生长的F掺杂SnO2薄膜较为疏松,以SiO2为过渡层制备的F掺杂SnO2薄膜光电性能最佳,其平均可见光透过率为82.9%,电阻率为5.33×10-4 Ω·cm,适合喷雾热解法制备性能优良的玻璃基F掺杂SnO2薄膜.

关键词: FTO薄膜 , 喷雾热解 , 过渡层 , 光电性能

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