张淑芳
,
方亮
,
付光宗
,
董建新
,
陈勇
材料导报
研究了导热硅脂(KE3493)涂层对水下密闭环境下应用的LED灯散热情况的影响,结果表明,LED系统的集成电路板上加入导热涂层能提高LED系统的散热效率,研究结果为导热涂层应用于LED散热系统提供了参考数据.
关键词:
导热涂层
,
散热性能
,
LED
,
硅脂
张淑芳
,
方亮
,
付光宗
,
董建新
,
彭丽萍
材料导报
采用高纯铝靶和氮/氩混合气氛,在玻璃衬底上用直流反应磁控溅射法制备了AlN薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)分析了不同衬底温度下样品的组成.结果表明,AlN薄膜主要含有AlN,存在少量Al2O3及一些其它杂质;随着基片温度的升高,AlN薄膜的纯度提高.
关键词:
氮化铝薄膜
,
磁控溅射
,
XPS
,
AFM
