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MOVPE生长AlAs/GaAs Bragg反射膜

黄根生 , 王成新 , 黄柏标 , 崔得良 , 高善民 , 秦晓燕 , 于淑琴

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.01.013

采用常压金属有机物气相沉积法生长AlAs/GaAs周期性反射膜,并利用双晶X射线衍射、扫描电子显微镜和记录式分光光度计等分析手段,对材料结构及光学性质进行了分析.实验结果表明,在780℃连续生长的薄膜结构和晶体质量都很好,但是反射率低;通过模拟计算,连续生长存在渐变层,而渐变层大大降低了反射率;在同样生长条件下间断生长得到较高反射率的薄膜材料.

关键词: AlAs/GaAs反射膜 , 反射率 , 导纳矩阵法 , 金属有机化学气相沉积

MOCVD法生长MgO外延薄膜

于淑琴

人工晶体学报

关键词:

MOCVD 生长及 TEM 表征 GaAs/Al_xGa_(1-x)As 量子异质结构材料

徐现刚 , 黄柏标 , 刘士文 , 任红文 , 于淑琴 , 蒋民华

材料研究学报

本文报道MOCVD 生长GaAs/Al_xGa_(1-x)As 量子异质结构材料(超晶格、量子阱及量子共振隧穿二极管),采用横断面透射显微术表征了样品的界面结构。实验表明:多量子阱与超晶格的周期性良好,层与层之间界面清晰,采用[100]带轴入射,观察到超晶格的TEM 卫星衍射斑,测量到量子阱中电子的子能级跃迁吸收。研究了生长工艺和材料结构的关系,分析了影响RT 器件的因素。

关键词: MOCVD , TEM , GaAs/Al_xGa_(1-x)As , Qutantum heterostructure