何宇亮
,
林鸿溢
,
武旭辉
,
余明斌
,
于晓梅
,
王珩
,
李冲
材料研究学报
使用HREM及STM技术检测了纳米Si薄膜的微结构纳米Si薄膜由大量的细微Si晶粒以及大量的晶粒间界面区组成.这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量.本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用,并认为纳米Si薄膜材料将是一种理想的传感器材料
关键词:
纳米Si薄膜
,
null
,
null
,
null
马盛林
,
汤雅权
,
于晓梅
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.004
本文设计了一种基于MEMS工艺的电容式非制冷红外探测,并利用ANSYS对器件的热力学特性进行了分析.使用ANSYS模拟研究了器件温度响应、位移响应与吸收的红外辐射能量的关系,研究了器件结构尺寸对器件性能参数的影响.红外探测器的温度响应和位移响应与吸收的红外辐射能量呈线性关系;随着红外探测器结构尺寸的增加,其温度响应度、位移响应度、热时间常数都随之增加,探测能力增强,但瞬态响应特性降低;当铝膜与氮化硅层的厚度比为0.5～0.6时,器件的位移响应度最大.
关键词:
非制冷
,
红外探测器
,
温度响应度
,
位移响应度
,
ANSYS
