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陈莉 , 董知之 , 赵义平 , 于晓
功能材料
用冻胶法直接纺制热致感应型形状记忆纤维,并对初生纤维进行了拉伸处理,通过各种测试手段研究了不同拉伸比下纤维的吸水性能、热性能、动态力学性能以及形状记忆特性.结果表明,随着拉伸比的提高,纤维的断裂强度增大,吸水性降低,纤维的模量提高,且显示出更好的热致感应形状记忆性能.
关键词: 形状记忆纤维 , 拉伸比 , 丙烯酸十八酯 , 丙烯酸 , 聚乙烯醇
于晓 , 张之圣 , 胡明
无机材料学报
薄膜制备工艺的发展使铁电薄膜很好的应用于MEMS, 使两者集成成为可能. 本文将详细论述铁电薄膜的优良性能, 及其与MEMS集成的关键工艺--图形化. 最后, 举例论述了PZT铁电薄膜在MEMS中的应用.
关键词: MEMS , ferroelectrics thin films , PZT , micro fabrication , pattern
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.004
薄膜制备工艺的发展使铁电薄膜很好的应用于MEMS,使两者集成成为可能.本文将详细论述铁电薄膜的优良性能,及其与MEMS集成的关键工艺-图形化.最后,举例论述了PZT铁电薄膜在MEMS中的应用.
关键词: MEMS , 铁电薄膜 , PZT , 微细加工技术 , 图形化
