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钛酸铋基铁电薄膜研究进展

张端明 , 杨斌 , 魏念 , 李智华 , 郑朝丹 , 吴云翼 , 郭冬云 , 王龙海 , 杨卫明 , 王耘波 , 高俊雄 , 于军

功能材料

钛酸铋基铁电薄膜具有优良的铁电、介电性能,在非挥发性存储器件方面有很好的应用前景.本文分别从制备工艺、掺杂改性、疲劳特性的研究等方面综述了最新的研究进展,并对当前研究中存在的问题进行了讨论.

关键词: 钛酸铋 , 铁电薄膜 , 制备工艺 , 掺杂改性 , 疲劳

Ag/Bi3.25La0.75Ti3O12/Bi4Ti3O12/Si结构铁电薄膜制备及其铁电性能的研究

郭冬云 , 王耘波 , 于军 , 付承菊 , 高俊雄 , 李建军 , 陈万军

功能材料

利用溶胶-凝胶(sol-gel)方法,在硅基底上制备了Bi3.25La0.75Ti3O12/Bi4Ti3O12/Si铁电薄膜,其中Bi4Ti3O12作为缓冲层.用XRD方法分析了该结构铁电薄膜的物相结构;用扫描电镜对薄膜样品进行表面形貌观察;并且对该结构的铁电性能进行了研究.

关键词: 铁电薄膜 , Bi3.25La0.75Ti3O12 , Bi4Ti3O12:sol-gel法

磁控溅射参数对(Ba,Sr)TiO3薄膜择优取向生长的影响

王梦 , 张发生 , 刘根华 , 于军

人工晶体学报

采用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了(Ba,Sr)TiO3薄膜.基于薄膜的形核理论,研究了溅射气压、靶基距、衬底温度和溅射功率等溅射参数对(Ba,Sr) TiO3薄膜择优取向生长的影响.实验结果表明:磁控溅射中,较高衬底温度(600℃)有助于钙钛矿成相;通过改变磁控溅射参数,能得到(111)、(001)、(110)择优取向的薄膜.

关键词: BST , 择优取向 , 磁控溅射 , 形核

La2/3Ca1/3Mn1-xFexO3化合物铁掺杂效应的M(o)ssbauer谱研究

王耘波 , 周文利 , 魏龙 , 于军 , 高俊雄 , 曹国辉

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2000.05.009

利用固相反应方法制备了名义成分为La2/3Ca1/3Mn1-xFexO3(0.01≤x≤0.20)的一系列样品.在整个掺杂范围内晶体结构没有明显变化.在室温下测量了各样品的Mossbauer谱,拟合结果表明+3价高自旋态的铁离子占据锰的八面体晶位,随Fe掺杂量的增加,铁离子的3d电子出现局域化趋势,并伴随Fe-O配位体畸变程度的增强.本文对此进行了讨论.

关键词:

退火温度对ZnO∶Al透明导电薄膜结构和性能的影响

于军 , 王晓晶 , 徐玮 , 雷青松

功能材料

采用溶胶-凝胶法(sol-gel)在普通载玻片上制备了ZnO∶Al薄膜,在200~600℃下退火.利用XRD、紫外-可见光-近红外分光光度计和电阻测试仪等分析方法研究了不同退火温度对薄膜结构和光电性能的影响.结果表明,退火温度在300℃以上,薄膜开始结晶,400℃以上,薄膜出现明显结晶,且沿(002)方向择优取向,随着退火温度升高,(002)峰的强度逐渐增强,晶粒尺寸逐渐增加;薄膜在可见光范围内的透过率均>85%以上,退火温度高的薄膜在可见光范围内的透过率明显提高,光学带隙在3.32~3.54eV,且随着温度的升高而降低;薄膜的电阻率随退火温度的增高而有所降低,但是仍较高,在103俜cm量级.

关键词: 退火温度 , 溶胶-凝胶法 , 结构性能 , 透明导电薄膜 , ZnO∶Al

火花等离子体放电制备高温合金细粉新技术

于军 , 葛昌纯 , 孟璐璐 , 沈卫平 , 燕青芝 , 孟月东

金属学报

提出了火花等离子体放电(SPD)制备高温合金细粉新技术, 并设计了样机. 该方法与常用的高温合金制粉方法---等离 子旋转电极法和氩气雾化法的原理不同, 与之相比, 该方法冷速更快, 可制备粒度更细小的粉末, 且设备简单. 对2种高温合金进行制粉, 实验表明: 该方法制备的粉末粒度分布窄、球形度高、粉末颗粒表面光滑、看不到枝晶、 颗粒内部是球状晶凝固组织, 从而组织更均匀.

关键词: 高温合金 , P/M superalloy , spark plasma discharge process

硅衬底Bi4Ti3O12和Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜的慢正电子束研究

王耘波 , 高俊雄 , 郭冬云 , 于军 , 魏龙

功能材料

对硅衬底生长的Bi4Ti3O12和Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜样品测量了慢正电子多普勒展宽谱,得到了S参数随正电子注入能量的变化.通过对S参数和W参数的分析,讨论了这类材料中的捕获态特征和结构特点,结果表明,薄膜与硅衬底界面的缺陷为空位-氧复合体,La的掺杂有助于阻止空位-氧复合体向界面的扩散.

关键词: 慢正电子束 , 多普勒展宽谱 , Bi4Ti3O12铁电薄膜 , 缺陷

退火温度对Si基Bi4Ti3O12铁电薄膜微观结构影响研究

王华 , 于军 , 王耘波 , 倪尔瑚

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2002.11.008

采用Sol-Gel工艺制备了Si基Bi4Ti3O12铁电薄膜.研究了退火温度对Si基Bi4Ti3O12薄膜晶相结构、晶粒尺寸及薄膜表面形貌的影响.研究表明,退火温度低于450℃时Bi4Ti3O12薄膜为非晶状态,退火温度在550~850℃范围时均为多晶薄膜,而且随退火温度升高,Bi4Ti3O12薄膜更趋向于沿c轴取向的生长;而晶粒尺寸及薄膜粗糙度随退火温度升高而增大,但在较高温度下增长速度趋缓.

关键词: 铁电薄膜 , Bi4Ti3O12 , 微观结构 , 退火温度

拉拔变形程度和电磁搅拌对Cu-6%Ag合金组织及性能的影响

柳艳 , 李贵茂 , 殷秋菊 , 周超梅 , 于军

机械工程材料

研究了拉拔变形程度和电磁搅拌对Cu-6%Ag合金组织、铜枝晶取向、抗拉强度和电导率的影响.结果表明:随着拉拔变形程度的增加,有、无电磁搅拌合金纤维状第二相的直径和间距不断减小,但合金的抗拉强度均增加,电导率均较铸态的有所下降;有电磁搅拌铸态合金的铜枝晶无取向,拉拔变形使铜枝晶的<111>取向增强;虽然有电磁搅拌合金中的纤维状第二相的直径和间距较无电磁搅拌合金的大,但其综合性能(强度和电导率)更优;电磁搅拌对拉拔变形后合金的抗拉强度影响不大,但却使电导率明显升高.

关键词: 拉拔变形程度 , 电磁搅拌 , Cu-6%Ag合金 , 铜枝晶取向 , 抗拉强度 , 电导率

热分解气氛对溶胶-凝胶法制备BLT铁电薄膜性能的影响

李建军 , 于军 , 李佳 , 王耘波 , 高俊雄 , 周文利

功能材料

研究了热分解气氛对溶胶-凝胶法制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT)薄膜铁电性能的影响.在400℃时空气或氧气气氛下热分解20min,接着在700℃时氧气气氛下退火30min.氧气气氛下的热分解能充分分解掉薄膜中的有机成分,而空气气氛下的热分解使炭、氢有机成分部分残留在薄膜中.有机成分的不完全分解影响了退火过程中BLT薄膜晶化时晶粒的生长.表现出生长取向和晶粒尺寸对BLT薄膜铁电性能的影响.氧气和空气气氛下热分解的薄膜的剩余极化(Pr)和矫顽电场(Ec)分别为18.85μC/cm2,119.7kV/cm和12.56μC/cm2、112.5kV/cm.氧气气氛下热分解的薄膜的剩余极化值显著提高.所以热分解是控制铁电性能的重要步骤.

关键词: BLT薄膜 , 溶胶-凝胶 , 热分解

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