于京明
,
孟婥
,
孙以泽
功能材料与器件学报
为分析微梳齿谐振器在空气阻尼下高频振动的动态特性,采用ANSYS参数化设计语言APDL进行编程分析,程序中将微谐振器模型简化成有面积的质量点,对质量点添加条件和约束建立分析模型,用FLUID139单元设置空气层模型,用TRANS126单元设置叉指换能模块,通过此程序求解的真空条件下的共振频率与理论分析结果基本吻合.与现有方法相比,该方法快速、实用、具有更好的适应性.
关键词:
ANSYS参数化设计语言APDL
,
微梳齿谐振器
,
空气阻尼
,
动态特性
