桂全宏
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周福强
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汪桂根
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崔林
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黎凌华
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严帅
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韩杰才
功能材料
近年来，图形化的蓝宝石衬底在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著，引起了广泛的研究兴趣。综述了蓝宝石图形衬底的制备方法（干法刻蚀、湿法刻蚀、外延生长法），并较系统地介绍了蓝宝石图形衬底表面周期性图形参数（图形形貌、图案尺寸、图形占位比及其深度）对LED发光薄膜及器件的影响及其机理，最后对蓝宝石图形衬底的发展趋势进行了展望。
关键词:
蓝宝石图形衬底
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GaN
,
LED
汪桂根
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崔林
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韩杰才
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王新中
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严帅
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秦国双
人工晶体学报
首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜；最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应.在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺优化研究.SEM测试结果表明,图形化铝膜在450℃低温氧化热处理24h后,其图形形貌没有发生明显改变；在温度低于1200℃的高温热处理1h后,图形仍然存在.HRXRD分析表明,图形化铝膜在450℃低温热处理24h后再在1000℃高温热处理1h,可在蓝宝石衬底上形成氧化铝外延薄膜；并且相比于基片,氧化铝外延薄膜的结晶质量还有所提高.本方法成功实现了高效大功率用LED蓝宝石图形衬底的制备.
关键词:
蓝宝石
,
图形衬底
,
电子束光刻
,
剥离
,
发光二极管
