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黄元盛 , 刘正义 , 瞿全炎 , 丘万奇
兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2001.04.009
用直流等离子喷射法,以甲烷、氢和氩气的混合气体为原料,在钼基体上合成了较高质量的CVD金刚石薄膜.对该薄膜的生长面及其背面的晶粒尺寸进行了研究,指出其-般规律,进一步探讨了CVD金刚石薄膜的晶粒尺寸对其热导率的影响规律.
关键词: 金刚石 , 薄膜 , 晶粒尺寸 , 热导率
