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p型透明导电CuAlO2薄膜的透光性能研究

汪立文 , 万蕴杰 , 高岭 , 董建新

材料导报

CuAlO2 (CAO)透明薄膜是一种铜铁矿结构p型直接带隙透明氧化物薄膜,该型薄膜样品的可见先透射率高达80％.随着基片温度的升高,薄膜的透射率减小；随着工作压强和靶基距的增大,薄膜的透射率增大；随着退火温度的升高,薄膜的透射率增大,有“蓝移”现象；随着溅射时间的延长,薄膜的透射率减小,也有“蓝移”现象.目前,利用该薄膜已成功制得了透明的臭氧传感器和透明光电板等器件,显示了CAO的应用前景.

关键词: CAO薄膜 , 光学特性 , 透射率