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万悦 , 方晓东 , 李永良 , 王文静 , 许颖
功能材料
用抛光铝合金作衬底在平行孪生靶的磁控溅射设备中制备出二氧化钛薄膜,薄膜厚度为500nm,XRD测量表明二氧化钛薄膜为锐钛矿型(anatase).该薄膜在紫外光源照射下,对甲苯、苯、二氧化硫及香烟气体有良好的降解作用;对大肠杆菌、金黄色葡萄糖菌有良好的去除作用.
关键词: 磁控溅射 , 二氧化钛薄膜 , 锐钛矿 , 光催化
